[发明专利]热处理装置

摘要

本发明提供热处理装置，在进行无载置方式的热处理时，能以廉价成本提早且确实地检测在炉内发生的被处理物破裂。使沿搬送路径配置在搬送滚柱(2)的下方的多个耐热玻璃(32)的一部份露出炉外作为露出部(5)，并配置振动传感器(4)于该露出部(5)。根据振动传感器(4)的检测信号，检测被搬送物的一部分因破裂的发生而往耐热玻璃(32)上落下。此时，停止搬送滚柱(2)旋转。

主权项

1.一种热处理装置，其特征在于具备有，外壁构件，其覆盖在搬送被处理物的搬送路径的周围；多个搬送滚柱，其在沿上述搬送路径的多个位置中分别支撑成可自由旋转的状态；多个内侧构件，其沿上述搬送路径配置在上述多个搬送滚柱的下方；露出部，其从上述多个内侧构件中的至少一个，贯通上述外壁构件而露出外部；振动检测手段，为配置于上述露出部的振动检测手段，其检测在上述搬送路径搬送之中，被处理物的一部份落下至上述内侧构件而产生的振动，并将检测信号输出；及，控制手段，其根据上述检测信号控制上述搬送滚柱的滚动，以防止落下的被处理物的一部分与后续搬送的被处理物互相接触。