[发明专利]取向膜的制造装置和制造方法、液晶装置以及电子机器有效
申请号: | 200610101953.2 | 申请日: | 2006-07-11 |
公开(公告)号: | CN1896846A | 公开(公告)日: | 2007-01-17 |
发明(设计)人: | 中田英男;宫川拓也;奥山规生 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337;G02F1/1333 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种制造装置,制造在相面对的一对基板间夹持液晶而成的液晶装置的取向膜,具有:成膜室;蒸镀部,其具有蒸镀源,在上述成膜室内通过物理的蒸镀法在上述基板上蒸镀取向膜材料,形成取向膜;遮挡板,其形成在上述蒸镀部与上述基板之间,具有用来有选择地蒸镀取向膜材料的缝隙状开口部分,将上述基板中的不形成取向膜的区域覆盖起来;以及限制部件,其设置在上述蒸镀源与上述遮挡板之间,并且设置在上述蒸镀源的附近,用来对上述蒸镀源的上述取向膜材料发生升华的升华方向进行限制。 | ||
搜索关键词: | 取向 制造 装置 方法 液晶 以及 电子 机器 | ||
【主权项】:
1.一种制造装置,制造在相面对的一对基板间夹持液晶而成的液晶装置的取向膜,具有:成膜室;蒸镀部,其具有蒸镀源,在上述成膜室内通过物理的蒸镀法在上述基板上蒸镀取向膜材料,形成取向膜;遮挡板,其形成在上述蒸镀部与上述基板之间,具有用来有选择地蒸镀取向膜材料的缝隙状开口部分,将上述基板中的没有形成取向膜的区域覆盖起来;以及,第1限制部件,其设置在上述蒸镀源与上述遮挡板之间,并且设置在上述蒸镀源的附近,用来对上述蒸镀源的上述取向膜材料发生升华的升华方向进行限制。
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