[发明专利]液滴喷出方法和液滴喷出装置及基板的制造方法有效
| 申请号: | 200610100074.8 | 申请日: | 2004-05-12 |
| 公开(公告)号: | CN1911661A | 公开(公告)日: | 2007-02-14 |
| 发明(设计)人: | 奥山正幸 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | B41J2/01 | 分类号: | B41J2/01;B41J3/00;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 一种液滴喷出方法,一边使具有液滴喷出机构的喷出头和基板相对移动,一边从所述喷出头向所述基板喷出液滴,而在该基板上形成图案,其特征在于,所述液滴喷出方法具有CAD数据作成步骤,在所述CAD数据作成步骤中,根据具有具备规定功能的多个功能层的所述图案中所述各功能层的形状,作为所述各功能层的层数据作成由多个矢量数据的组合而规定的CAD数据,同时作成作为层保持所述各层数据的CAD数据。 | ||
| 搜索关键词: | 喷出 方法 装置 制造 | ||
【主权项】:
1.一种液滴喷出方法,一边使具有液滴喷出机构的喷出头和基板相对移动,一边从所述喷出头向所述基板喷出液滴,而在该基板上形成图案,其特征在于,所述液滴喷出方法具有CAD数据作成步骤,在所述CAD数据作成步骤中,根据具有具备规定功能的多个功能层的所述图案中所述各功能层的形状,作为所述各功能层的层数据作成由多个矢量数据的组合而规定的CAD数据,同时作成作为层保持所述各层数据的CAD数据。
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