[发明专利]电子束蚀刻装置及蚀刻方法无效
| 申请号： | 200610099248.3 | 申请日： | 2006-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN101109905A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 郑正元;詹德凤;郑奎文 | 申请（专利权）人： | 东元电机股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦;方挺 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具有碳纳米管电子发射源的电子束蚀刻装置及蚀刻方法，该装置的结构主要包括真空腔体、阴极板、阳极板及驱动单元，其中该阴极板及阳极板均设置于真空腔体中，该阴极板上具有多个独立构成的阴极单元，该阴极单元的上方设有栅层，阳极板与阴极板对应平行设置，且该阳极板用于设置待进行蚀刻的基材，最后驱动单元与栅层及各阴极单元电连接，通过栅层来使得阴极单元产生电子束以进行蚀刻，由此使得蚀刻工艺的精密度增加，同时具有该阴极单元可替换的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 蚀刻 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子束蚀刻装置，包括：真空腔体；阴极板，其设置于所述真空腔体中，所述阴极板上设有多个各自独立的阴极单元及栅导电层，且各阴极单元与栅导电层相互垂直对应；阳极板，其设置于所述真空腔体中，且与所述阴极板平行设置，并与所述阴极板上的阴极单元相对应，所述阳极板包括基板及蚀刻靶材，所述蚀刻靶材设置于所述基板内侧；驱动单元，其设置于所述真空腔体之外，且与所述阴极板上的各阴极单元及栅导电层电连接。
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