[发明专利]功能液滴涂敷装置、显示装置以及电子设备

摘要

本发明的目的在于，通过在将功能液滴喷出到基板上的涂敷工序和使喷出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之间，以基板载置于同一载物台的状态使从涂敷到干燥的速度加快，并根据需要使所述涂敷/干燥工序重复一次以上，来防止基板上的功能液滴的“上渗”，并防止基板的破损。在步骤S8中判断图案是否完成。在图案未完成的情况下，通过作为载物台移动工序的步骤S9，使载物台(5)移动到描绘单元(3)下方的规定位置。返回到步骤S3，从功能液滴喷头(11)喷出功能液滴(10)，在基板(50)上制作图案。从而，在图案完成前至少重复进行一次以上该处理。另外，当图案完成时，从载物台(5)取下基板(50)，结束作业。

主权项

1、一种功能液滴涂敷装置，包括：功能液滴喷头，用于喷出功能液滴；载物台，用于载置基板，在所述基板涂敷从所述功能液滴喷头喷出的所述功能液滴；干燥单元，对载置于所述载物台的所述基板的一部分或全部进行覆盖，来干燥从所述功能液滴喷头喷出到所述基板的所述功能液滴。