[发明专利]流体干燥系统和流量液位监控安全系统无效
| 申请号： | 200610093848.9 | 申请日： | 2006-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101093135A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 钟盛芳;杨长兴;蔡守益;彭裕富;方建男;樊敏基;杨易昌 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B25/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有流量及液位自动监控的干燥系统，包括蒸气室(Vapor chamber)，具有干燥腔，用以干燥晶片；流体储槽，连接至该蒸气室，用以储存流体；安全泄压阀，连接至该流体储槽；载气(Carrier gas)槽，连接至该流体储槽，其中该载气槽还具有出口端；流量及液位管理监控器，连接至该安全泄压阀、该载气槽的该出口端及该流体储槽，用以分别监控该安全泄压阀的流量、该载气的流量与该流体储槽的该流体的液位；以及警报器，连接至该流量及液位管理监控器，用以在该流量及液位管理监控器测得该安全泄压阀的第一异常流量信号、该载气的第二异常流量信号或该流体的异常液位信号等其中之一时，产生警报信号。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 干燥 系统 流量 监控 安全 | ||
【主权项】：
1.一种具有流量及液位监控的流体干燥系统，包括：蒸气室，具有干燥腔，用以干燥晶片；流体储槽，连接至该蒸气室，用以储存流体；安全泄压阀，连接至该流体储槽，并具有第一流量监控器，用以监控该安全泄压阀的流量；载气槽，连接至该流体储槽，用以提供载气导入该流体储槽，其中该载气槽还具有出口端，及第二流量监控器，用以监控该载气的流量；液位管理监控器，连接该流体储槽，用以监控该流体储槽的该流体的液位；以及警报器，连接该第一流量监控器、该第二流量监控器与该液位管理监控器，以用在该第一流量监控器测得该安全泄压阀的第一异常流量信号、该第二流量监控器测得该载气的第二异常流量信号或该液位管理监控器测得异常液位信号等其中之一时，产生警报信号。
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