[发明专利]具备洗涤装置的加工机

摘要

本发明提供一种具备能减小遮挡开口部的盖部件处于避让状态时的空间、并能防止使盖部件避让时洗涤水落下的洗涤装置的加工机。其具备洗涤装置，洗涤装置具备：上面开口的洗涤外罩；旋转台，配设在该洗涤外罩内、保持并旋转被加工物；洗涤水供给机构，对保持在该旋转台上的被加工物提供洗涤水；以及盖机构，可开闭地遮挡该洗涤外罩的开口。盖机构具备：多个盖部件，被构成为彼此可以上下分开地在与洗涤外罩的开口相邻设置的避让区域和遮挡该开口的遮挡区域之间移动，遮挡区域；以及盖部件动作机构，使位于避让区域的多个盖部件移动到遮挡区域，并使位于遮挡区域的多个盖部件移动到避让区域，多个盖部件当移动到避让区域时，处于彼此上下重合的位置。

主权项

1.一种具备洗涤装置的加工机，其具备：卡盘台，保持被加工物；加工机构，加工被保持在该卡盘台上的被加工物；洗涤装置，洗涤由该加工机构加工过的被加工物；以及输送机构，将被保持在该卡盘台上的加工后的被加工物输送到该洗涤装置上，其特征在于，该洗涤装置具备：上面开口的洗涤外罩；旋转台，配设在该洗涤外罩内、保持并旋转被加工物；洗涤水供给机构，对保持在该旋转台上的被加工物提供洗涤水；以及盖机构，可以开闭地遮挡该洗涤外罩的开口，该盖机构具备：多个盖部件，被构成为彼此可以上下分开地在与该洗涤外罩的开口相邻设置的避让区域和遮挡该开口的遮挡区域之间移动，遮挡该遮挡区域；以及盖部件动作机构，使位于该避让区域的上述多个盖部件移动到该遮挡区域，并使位于该遮挡区域的上述多个盖部件移动到该避让区域，上述多个盖部件当移动到该避让区域时，处于彼此上下重合的位置。