[发明专利]利用激光的干式净化系统无效
| 申请号： | 200610083672.9 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1939643A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 李锺明 | 申请（专利权）人： | 株式会社IMT |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/08;B23K26/42;B23K26/18;B23K26/16;B23K26/04;B23K26/06;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明是关于利用激光清除洗净对象的污染物的干式净化系统，目的是提供一种利用光能－激光有效地清除洗净对象的污染物，尤其是清除半导体测试座接触部表面的污染物的干式净化系统。根据本发明，利用激光的干式净化系统由以下几个部分组成：激光发生装置：产生激光束；激光束传输装置：传送从上述激光发生装置产生的激光束；激光束照射装置：调整通过上述激光束传输装置传送的激光束的形态，并对洗净对象照射已经过调整的激光束；扫描装置：调整上述激光束照射装置的激光束的照射位置。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 激光 净化系统 | ||
【主权项】：
1、一种利用激光的干式净化系统，其特征在于其包括以下几个部分：产生激光束的激光发生装置；传送从上述激光发生装置产生的激光束的激光束传输装置；调整通过上述激光束传输装置传送的激光束形态，并用已经过调整的激光束照射洗净对象的激光束照射装置。
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