[发明专利]补偿对工件上高对比度层、步进辐射中的能量差异的方法无效
| 申请号： | 200610080363.6 | 申请日： | 2002-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN1854905A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 托布乔恩·桑德斯特罗姆;马丁·奥尔森;珀·埃尔姆福斯;斯蒂芬·古斯塔夫森 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克激光系统公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄小临;王志森 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及使用子像素分辨率来呈现高精度图像，可适用于产生网线板和大面积掩模、直接写入图形和查看网线板或其他图形的工件。本发明的多个方面可以应用到SLM和扫描技术。本发明包括一种调制微镜阵列以建立和加强图像的方法。本申请公开了重叠区、保护区的使用、将多边形移动和重新定大小、使用两个分辨率级，表示区域、定义边、定位边和角。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿 工件 对比度 步进 辐射 中的 能量 差异 方法 | ||
【主权项】：
1.一种补偿在对工件上的高对比度层的多遍次、步进辐射中的能量差异的方法，所述方法包括：对应于在多遍次辐射中的所希望的能量贡献的图形而向重叠范围映射工件；使用能量来辐射工件的区域；记录被应用到在所述区域中用于重叠范围的区域的能量；并且根据被应用到特定重叠范围的所记录能量，在随后的曝光遍次期间，调整所述区域的特定重叠范围的辐射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦克罗尼克激光系统公司，未经麦克罗尼克激光系统公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610080363.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于改善技巧播放性能的高速缓冲管理
- 下一篇：内容获取方法
