[发明专利]一种光罩及利用该光罩在磁头表面形成气垫面图案的方法无效
| 申请号： | 200610079939.7 | 申请日： | 2006-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101064118A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 金则清;尹辉;肖爱龙 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/60 | 分类号： | G11B5/60;G11B21/21;G11B5/84 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 香港新界沙田香港*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光罩，包括透明基底及形成于该透明基底上的金属薄膜层。所述金属薄膜层上形成有透光的气垫面图像(ABS image)、光罩标志(reticle key)及机器视觉系统窗口(MVS window)，其中，所述机器视觉系统窗口与所述气垫面图像重合。本发明同时提供一种利用上述光罩在磁头表面形成气垫面图案(ABS pattern)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 磁头 表面 形成 气垫 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光罩(reticle)，包括：透明基底(substrate)及形成于该透明基底上的金属薄膜层；所述金属薄膜层上形成有透光的气垫面图像(air bearing surface image，ABS image)、光罩标志(reticle key)及机器视觉系统窗口(machine vision window，MVS window)；其中，所述机器视觉系统窗口与所述气垫面图像重合。
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