[发明专利]糊状物分配器及控制糊状物分配器的方法有效
| 申请号： | 200610072342.X | 申请日： | 2006-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN1847014A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 林永一 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | B41J25/308 | 分类号： | B41J25/308;B41J29/38;B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种糊状物分配器和用于控制糊状物分配器的方法。糊状物分配器包括：传感器部件，沿垂直于基板的垂直方向移动；喷嘴部件，安装在传感器部件上，沿垂直于基板的方向移动；以及位置测量传感器，将传感器部件和喷嘴部件之间在垂直于所述基板表面的方向上的位置改变作为数字信号输出。根据本发明，喷嘴部件的位置在垂直于所述基板表面的方向上相对于传感器部件的位置的改变作为数字信号被输出，而不产生电子等效噪声。这使得精确地测量喷嘴和基板之间的距离以及大量减少缺陷百分比和设置喷嘴和基板之间的垂直距离的处理时间成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 糊状 分配器 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种糊状物分配器，包括：传感器部件，沿垂直于基板的垂直方向移动；喷嘴部件，安装在所述传感器部件上，沿垂直于所述基板的方向移动；以及位置测量传感器，将所述传感器部件(530)和所述喷嘴部件(550)之间在垂直于所述基板表面方向上的位置改变作为数字信号输出。
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