[发明专利]电子束照射装置有效
| 申请号： | 200610071742.9 | 申请日： | 2006-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1838334A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 中尾诚太郎 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | G21K5/10 | 分类号： | G21K5/10;C08K5/00;G05D7/00;G01N27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在将照射室的氧浓度维持在适当水平的同时，能削减惰性气体的使用量的电子束照射装置。一种电子束照射装置(1)，其一边向照射室(4)内导入惰性气体，一边向作为通过照射室(4)的被照射体的薄膜(F)照射电子束，其中，在该电子束照射装置(1)中设置有：检测照射室(4)内的氧浓度的氧浓度计(35)；调整导入到照射室(4)内的惰性气体的流量的主控制阀(25)；按照在氧浓度降低时减少惰性气体的流量的方式，基于由氧浓度计(25)检测出的氧浓度，控制主控制阀(25)的开度的控制单元(40)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 照射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束照射装置，其一边向照射室内导入惰性气体，一边向通过该照射室的被照射体照射电子束，其特征是，具备：检测所述照射室内的氧浓度的氧浓度检测机构；调节导入到所述照射室内的惰性气体的流量的流量调节阀；按照如果所述氧浓度降低则减少所述惰性气体的流量的方式，基于由所述氧浓度检测机构检测出的氧浓度，控制所述流量调节阀的开度的开度控制机构。
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