[发明专利]液体检测装置、液体容器和制造液体检测装置的方法

摘要

本发明公开了一种液体检测装置、液体容器和制造液体检测装置的方法。该液体检测装置包括：单元基座，在其上表面上设有凹入部分并包含第一材料；传感器基座，容纳在凹入部分中并包含不同于第一材料的第二材料；传感器芯片，安装在传感器基座的上表面上并具有接纳作为检测对象的液体的传感器腔，其中传感器腔的下表面形成为被开口来允许液体流入其中，且其上表面被振动板封闭并设有安装在振动板的上表面上的压电元件；粘结层，形成在传感器基座的上表面上并将传感器芯片与传感器基座彼此固定和密封；和粘结膜，其将传感器基座和单元基座彼此固定和密封，并且其内周部分粘结到传感器基座的上表面且其外周部分粘结到单元基座的上表面。

主权项

1.一种液体检测装置，包括：单元基座，所述单元基座在其上表面上设有凹入部分并且所述单元基座包含第一材料；传感器基座，所述传感器基座容纳在所述凹入部分中并包含不同于所述第一材料的第二材料；传感器芯片，所述传感器芯片安装在所述传感器基座的上表面上并具有用于接纳作为检测对象的液体的传感器腔，在所述传感器芯片中，所述传感器腔的下表面形成为被开口来允许液体流入其中，且其上表面被振动板封闭并设有安装在所述振动板的上表面上的压电元件；粘结层，其形成在所述传感器基座的上表面上并将所述传感器芯片与所述传感器基座彼此固定和密封；和粘结膜，其将所述传感器基座和所述单元基座彼此固定和密封，并且其内周部分粘结到所述传感器基座的所述上表面且其外周部分粘结到所述单元基座的所述上表面。