[发明专利]放射线检测元件及其制造方法

摘要

提供一种放射线检测元件及其制造方法。该放射线检测元件，包括：受光元件阵列，将多个受光元件在基板上一维或二维排列形成其受光单元，并把各行或各列的所述受光元件电连接的多个焊盘配置在所述受光单元的外部；闪烁器层，其至少在所述受光单元的所述受光元件的有效画面区域上层积形成，并把放射线变换成可见光；以封闭框状形成的由树脂构成的一个或多个树脂框，其把所述受光元件阵列上的形成了闪烁器层的区域和配置了焊盘的区域区分开来；以及放射线可通过的耐湿保护膜，其覆盖所述闪烁器层、所述受光元件的包围所述闪烁器层的表面、以及所述树脂框，至少使所述焊盘露出，其中用所述树脂框把所述耐湿保护膜的边缘与所述受光元件结合起来。

主权项

1.一种放射线检测元件，包括：受光元件阵列，该受光元件阵列包括：将多个受光元件在基板上一维或二维排列而形成的受光单元，以及，由与所述受光单元的各行或各列的所述受光元件相电连接的、并被配置在所述受光单元的外部的多个焊盘组成的焊盘部；闪烁器层，该闪烁器层在所述受光单元的所述受光元件上沉积且将放射线变换成可见光；一个或多个树脂框，是由被形成为区分所述受光元件阵列上的形成有所述闪烁器层的区域和配置有所述焊盘的区域的封闭框状的树脂所构成；以及耐湿保护膜，该耐湿保护膜由、与至少所述闪烁器层的全部表面直接接触地覆盖、同时到达所述树脂框并使得至少所述焊盘部露出的放射线透过性的有机膜构成。