[发明专利]外围曝光装置有效
| 申请号： | 200610066097.1 | 申请日： | 2006-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1841204A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 田尾正则;谷川央树;常吉豪 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董惠石 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的外围曝光装置具有下列部件：XY支承台(2)，支承涂敷有抗蚀剂的印刷电路板(1)；支承XY支承台(2)的旋转工作台(3)；对印刷电路板(1)的外围进行曝光的外围曝光用光源(4)；保持外围曝光用光源(4)的滑动件(5)；检测外围曝光用光源(4)发射光强度的照度计(6)；向外围曝光用光源(4)提供驱动电流的直流电源(7)；以及控制外围曝光用光源(4)的温度的温度控制机构(8)。本发明的外围曝光装置在实现小型化、简单化的同时，能大幅度减小对曝光对象的不良影响，而且不会无谓地消耗电力，并且对曝光对象的外围区域进行曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 外围 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种外围曝光装置，其特征在于，对应于曝光对象(1)的外围规定位置，配置了含有发射紫外光的发光二极管(4a)的外围曝光用光源(4)。
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