[发明专利]掩模支撑座和蒸镀系统有效
| 申请号： | 200610065463.1 | 申请日： | 2006-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN101041890A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 黄壬昶;曾文绶 | 申请（专利权）人： | 统宝光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾省新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用来承载掩模的掩模支撑座，其包含有一支架，一冷却回路，设于该支架上，用来传输冷却物质，一冷却物质入口，形成于该冷却回路上，用来输入冷却物质至该冷却回路，以及一冷却物质出口，形成于该冷却回路上，用来由该冷却回路输出冷却物质。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用来承载掩模的掩模支撑座，其包括：一支架；一冷却回路，设于该支架中，用来传输冷媒；一冷媒入口，形成于该冷却回路中，用来输入冷媒至该冷却回路；以及一冷媒出口，形成于该冷却回路中，用来由该冷却回路输出冷媒。
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