[发明专利]压电元件、液体喷射头及其制造方法,液体喷射设备有效
| 申请号： | 200610065141.7 | 申请日： | 2006-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN1838445A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 李欣山 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/24 | 分类号： | H01L41/24;H01L41/09;H01L41/187;B41J2/14;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有高耐受电压和更长的耐久性寿命的压电元件、该压电元件的制造方法、一种液体喷射头、该液体喷射头的制造方法和一种液体喷射设备。该压电元件的制造方法包括如下步骤：通过在下电极上形成压电前驱体膜并且通过随后在650℃到750℃下将所述压电前驱体膜烘焙半个小时到三个小时，来形成压电层，其中在所述压电前驱体膜中包含Pb、Zr和Ti，并且在所述前驱体膜被烘焙之后Pb、Zr和Ti的组成比变为Pb/(Zr+Ti)＝1.0～1.3，并且选自由锰、镍和锶组成的组中的至少一种掺杂剂被掺杂到所述压电前驱体膜；以及在所述压电层上形成上电极。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 液体 喷射 及其 制造 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种制造压电元件的方法，包括如下步骤：在衬底上形成下电极；通过在所述下电极上形成压电前驱体膜并且通过随后在650℃到750℃下将所述压电前驱体膜烘焙半小时到三小时，来形成压电层，其中在所述压电前驱体膜中包含Pb、Zr和Ti，并且在所述前驱体膜被烘焙之后Pb、Zr和Ti的组成比变为Pb/(Zr+Ti)＝1.0～1.3，并且选自由锰、镍和锶组成的组中的至少一种掺杂剂被掺杂到所述压电前驱体膜；以及在所述压电层上形成上电极。
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