[发明专利]有机电致发光元件的制造方法无效
| 申请号： | 200610064267.2 | 申请日： | 2006-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN101030628A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 西垣研治 | 申请（专利权）人： | 株式会社丰田自动织机 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉兰;吴娟 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是不使用湿法工艺而能够将密封膜形成为图案的有机EL元件的制造方法，包括准备已形成了第一电极(2)的基板(1)，在基板(1)的第一电极(2)上依次层叠包括发光层的有机层(3)和第二电极(4)，形成叠层膜(7)的工序；形成覆盖整个叠层膜(7)的第一密封膜(5)的工序；在第一密封膜(5)的表面上形成具有规定图案的开口部的第二密封膜(6)的工序；通过将具有规定图案的第二密封膜(6)作为掩模进行干法蚀刻，使上述第一密封膜(5)形成图案的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种有机电致发光元件的制造方法，其特征在于，包括：(1)准备已形成了第一电极的基板，在上述基板的上述第一电极上依次层叠包括发光层的有机层、和第二电极，形成叠层膜的工序；(2)形成覆盖整个上述叠层膜的第一密封膜的工序；(3)在上述第一密封膜的表面上形成具有开口图案的第二密封膜的工序；(4)通过将上述具有开口图案的第二密封膜作为掩模进行干法蚀刻，使上述第一密封膜形成图案的工序。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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