[发明专利]三态射频开关

摘要

一种三态射频微机电系统开关，包括：第一井，其形成在第一基板上；形成第一间隙的第一输入信号线和第一输出信号线；与第一井中的信号线隔绝的射频接地；形成在第一井中的第一驱动电极；具有第二井和第三井的第二基板；在第二基板中的第二井和第三井之间形成分界的分界栏；第二输入信号线和第二输出信号线、第三输入信号线和第三输出信号线，分别形成第二间隙和第三间隙；与在第二井和第三井中的信号线隔绝射频接地；第二驱动电极和第三驱动电极；隔膜，其设置在第一基板和第二基板之间，以在第一、第二及第三间隙之上穿过，并具有分别与其上的第一间隙、第二间隙和第三间隙相对的第一金属焊盘、第二金焊盘和第三金属焊盘。

主权项

1、一种三态射频开关，包括：第一井，其形成在第一基板上；在该第一井中的第一输入信号线和第一输出信号线，它们彼此间形成第一间隙；第一射频接地，其在该第一井中与该些信号线隔绝；第一驱动电极，其形成在该第一井中；第二基板，其具有对应于该第一基板上的该第一井的第二井和第三井；分界栏，其在该第二基板中的该第二井和第三井之间形成边界；第二输入信号线和第二输出信号线，以及第三输入信号线和第三输出信号线，它们分别在该第二井和该第三井中形成第二间隙和第三间隙；第二射频接地，其与在该第二井和该第三井中的该些信号线隔绝；第二驱动电极和第三驱动电极，它们分别形成在该第二井和该第三井中；和隔膜，其设置在该第一基板和该第二基板之间，以横跨该第一间隙、该第二和第三间隙，并且其上具有第一金属焊盘、第二金属焊盘和第三金属焊盘，分别与该第一间隙、该第二间隙和该第三间隙相对。