[发明专利]一种自清洁玻璃的制备方法及制备装置

摘要

一种自清洁玻璃的制备方法及制备装置，属于纳米功能材料加工领域，其方法为：将TiCl₄汽化后通入玻璃退火窑炉内所生产玻璃的上方，经热分解在玻璃的上方沉积TiO₂薄膜，用TiCl₄和O₂作为气体先驱体，将含N的气体加入，经热分解在玻璃上沉积TiO₂薄膜。其装置中液态的TiCl₄ (8)放置在有夹层的密闭容器(9)中，用于通入O₂的管道(3)通过三通阀(7)一端与喷头(12)联通，用于通入N₂载气的管道(4)的另一端通入放置密闭容器(9)中液态的TiCl₄(8)中，用于通入N₂的管道(1)与用于通入O₂的管道(3)的上端并联在一起，通过三通阀(7)一端与喷头(12)联通，另一端通入密闭容器(9)中。

主权项

1、一种自清洁玻璃的制备方法，将TiCl4汽化后通入玻璃退火窑炉内所生产玻璃的上方，经热分解在玻璃的上方沉积TiO2薄膜，其特征在于用TiCl4和O2作为气体先驱体，将含N的气体加入，经热分解在玻璃上沉积TiO2薄膜。