[发明专利]化学机械平坦化终点检测方法有效
| 申请号： | 200610029920.1 | 申请日： | 2006-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN101121242A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 邓永平 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B49/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种化学机械平坦化终点检测方法，包括：利用样片，以单一平坦化速率进行基础终点检测；根据基础终点检测结果将实际终点检测过程分为第一步骤及第二步骤；在实际终点检测过程中设定第一平坦化速率及第二平坦化速率；以所述第一平坦化速率进行第一步骤；以所述第二平坦化速率进行第二步骤；顺序进行第一步骤及第二步骤，完成实际终点检测。应用此终点检测方法，既可保证终点检测的可靠性，又能缩短终点检测耗用时间，同时具有广泛的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 平坦 终点 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械平坦化终点检测方法，包括：利用样片，以单一平坦化速率进行基础终点检测；根据基础终点检测结果将实际终点检测过程分为第一步骤及第二步骤；在实际终点检测过程中设定第一平坦化速率及第二平坦化速率；以所述第一平坦化速率进行第一步骤；以所述第二平坦化速率进行第二步骤；顺序进行第一步骤及第二步骤，完成实际终点检测。
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