[发明专利]化学机械研磨机台中研磨液及去离子水输送管的配置方法无效
| 申请号： | 200610029510.7 | 申请日： | 2006-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN101112750A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 张映斌;王云波;夏志平;黄孝鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B57/02;B24B55/00;H01L21/304;H01L21/463 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供改进的化学机械研磨机台中研磨液及去离子水输送管的配置方法，通过缩短研磨液与清洗用去离子水共用输送管的距离，或者将研磨液与清洗用去离子水以分开的管道输送的方式，减少或者避免研磨液在化学机械研磨制程中被无谓地损耗。同时这种改进的配置方法还可以使化学研磨制程的效率得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨机 台中 研磨 离子水 输送 配置 方法 | ||
【主权项】：
1.化学机械研磨机台中研磨液及去离子水输送管的配置方法，其特征在于，研磨液泵出管与调节研磨液浓度用的去离子水管合并后，在接近研磨平台处与清洗用的去离子水管合并，通过研磨液与清洗用的去离子水共用的输送管连接至研磨平台。
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