[发明专利]测试样品的固定装置和扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 200610024312.1 | 申请日： | 2006-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101030518A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 陈险峰;葛挺锋;秦天;邹丽君 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;H01L21/66;G02B21/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种测试样品的固定装置，应用于半导体芯片测试，可以包括以下部件：固定部、压紧部和底座；所述固定部包括一垂直于底座的固定壁，所述固定部设置在底座上，压紧部包括一垂直于底座的活动壁；固定壁、活动壁以及底座之间形成的空间用于固定测试样品。本发明结构简单，成本低廉，由于采用机械的方式将样品固定在固定装置上，样品不会在扫描过程中出现振动，所以可以提高SEM的成像质量；由于固定样品的宽度是可调的，所以可以适用于在一次研磨过程中制造一个或者多个样品，从而可以提高样品制造效率，提高样品测试的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 样品 固定 装置 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1、一种测试样品的固定装置，应用于半导体芯片测试，其特征在于，包括：固定部、压紧部和底座；所述固定部包括一垂直于底座的固定壁，所述固定部设置在底座上，压紧部包括一垂直于底座的活动壁；固定壁、活动壁以及底座之间形成的空间用于固定测试样品。
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