[发明专利]一种除藻型抛光液无效
| 申请号： | 200610014596.6 | 申请日： | 2006-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101096576A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 仲跻和;李家荣;周云昌;高如山 | 申请（专利权）人： | 天津晶岭电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/14 | 分类号： | C09G1/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 国嘉律师事务所 | 代理人： | 卢枫 |
| 地址： | 300385天津市天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种除藻型抛光液，其特征在于它是由SiO2溶胶、pH值调节剂、表面活性剂、杀菌除藻剂、螯合剂和水混合组成，其重量分数配比：SiO2溶胶占25％～45％，pH值调节剂占5％～10％，表面活性剂作占1％～4％，杀菌除藻剂占0.02～2％，螯合剂占0.1～3％，水占30％～65％。pH值范围为9～13.5，粒径范围为10～130nm。本发明的优越性在于：在不影响抛光液的性质下，明显延长了其质保时间，解决了外观和污染问题；采用合适的杀菌除藻剂，在原有硅溶胶抛光液的基础上，直接加入一定比例的杀菌除藻剂制备而成，操作简单易行，工业化合理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 | ||
【主权项】：
1、一种除藻型抛光液，其特征在于它是由SiO2溶胶、pH值调节剂、表面活性剂、杀菌除藻剂、螯合剂和水混合组成，其重量分数配比：SiO2 溶胶占25％～45％，pH值调节剂占5％～10％，表面活性剂占1％～4％，杀菌除藻剂占0.02～2％，螯合剂占0.1～3％，水占30％～65％；PH值范围为9～13.5，粒径范围为10～130nm。
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