[发明专利]一种除藻型抛光液无效

专利信息
申请号: 200610014596.6 申请日: 2006-06-30
公开(公告)号: CN101096576A 公开(公告)日: 2008-01-02
发明(设计)人: 仲跻和;李家荣;周云昌;高如山 申请(专利权)人: 天津晶岭电子材料科技有限公司
主分类号: C09G1/14 分类号: C09G1/14;H01L21/304
代理公司: 国嘉律师事务所 代理人: 卢枫
地址: 300385天津市天*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光
【权利要求书】:

1、一种除藻型抛光液,其特征在于它是由SiO2溶胶、pH值调节剂、表面活性剂、杀菌除藻剂、螯合剂和水混合组成,其重量分数配比:SiO2溶胶占25%~45%,pH值调节剂占5%~10%,表面活性剂占1%~4%,杀菌除藻剂占0.02~2%,螯合剂占0.1~3%,水占30%~65%;PH值范围为9~13.5,粒径范围为10~130nm。

2、根据权利要求1所说的一种除藻型抛光液,其特征在于所说的SiO2溶胶可取粒径10~130nm的二氧化硅溶胶。

3、根据权利要求1所说的一种除藻型抛光液,其特征在于所说的pH值调节剂取有机碱类,包括多羟多胺、胺碱、羟胺或醇胺。

4、根据权利要求1所说的一种除藻型抛光液,其特征在于所说的表面活性剂包括聚氧乙烯醚类非离子表面活性剂、多元醇酯类非离子表面活性剂和高分子及元素有机系非离子表面活性剂中的一种或两种以上组合。

5、根据权利要求4所说的一种除藻型抛光液,其特征在于所说的聚氧乙烯系非离子表面活性剂是聚氧乙烯烷基酚、聚氧乙烯脂肪醇、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯胺或聚氧乙烯酰胺;所说的多元醇酯类非离子表面活性剂是乙二醇酯、甘油酯或聚氧乙烯多元醇酯。

6、根据权利要求1所说的一种除藻型抛光液,其特征在于所说的杀菌除藻剂类包括三嗪类、酚类、氧化剂类、挥发性烷化剂类或非氧化型杀生剂类杀菌除藻剂。

7、根据权利要求6所说的一种除藻型抛光液,其特征在于所说的三嗪类包括羟乙基均三嗪杀菌除藻剂;所说的非氧化型杀生剂包括季铵盐、异噻唑啉酮、戊二醛、季怜盐或氯酚类杀菌除藻剂。

8、根据权利要求7所说的一种除藻型抛光液,其特征在于所说的季铵盐包括氯化十二烷基二甲基苄基铵。

9、根据权利要求1所说的一种除藻型抛光液,其特征在于所说的螯合剂包括乙二胺四乙酸二钠盐(EDTA),四乙酸四羟乙基乙二胺盐或13个以上螯合环容丁水螯合剂。

10、根据权利要求1所说的一种除藻型抛光液,其特征在于所说的水可取去离子水。

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