[发明专利]一种集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列及其方法无效
| 申请号： | 200610011657.3 | 申请日： | 2006-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101055338A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 陈少武;李艳萍;余金中 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B6/136;H04J14/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及信息光电子技术领域，一种集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列及其方法，包括：输入/输出光波导；在各输入/输出光波导上集成的三维光场模斑变换器；各级2×2光开关单元；各级2×2光开关单元之间的连接光波导；光开关驱动电极。利用在波导光开关阵列芯片输入/输出光波导上制作的集成式三维光场模斑变换器，将进入/输出小尺寸波导的光场模斑进行压缩/放大，达到提高标准单模光纤和小尺寸光波导之间的耦合效率，用小尺寸波导构造的光开关，特别是热光驱动开关，开关速度比大尺寸波导光开关要快。该集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列，其制备工艺同微电子标准CMOS工艺完全兼容，因此容易制作，便于大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 有光 场模斑 变换器 波导 开关 阵列 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列，其特征在于：该波导光开关阵列包括：输入/输出光波导；在各输入/输出光波导上集成的三维光场模斑变换器；各级2×2光开关单元；各级2×2光开关单元之间的连接光波导。
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