[发明专利]晶片搬运装置无效
| 申请号： | 200610004513.5 | 申请日： | 2006-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN1820897A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 山中聪 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶片搬运装置。其即使在真空吸附晶片并吸引保持在保持部上时，也能减轻由接触造成的晶片抗折强度的下降。在具有用真空吸附吸引保持晶片的保持部(120)和把用保持部(120)保持的晶片搬运到规定位置的搬运部(110)的晶片搬运装置(100)中，规定保持部(120)中的真空压力为表压－70Pa到－30Pa的范围内。为了调整该真空压力，具有真空泵(160)、连接真空泵(160)和保持部(120)的第二配管(153)；在第二配管(153)中装有调整保持部(120)中的真空压力的压力调整装置(155)。据此，即使在用真空吸附晶片W吸引保持在保持部(120)上时也可以减轻由于接触而产生的晶片W抗折强度的下降。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 搬运 装置 | ||
【主权项】：
1、一种晶片搬运装置，其包括通过真空吸附吸引保持晶片的保持部和把用所述保持部保持的所述晶片搬运到规定位置的搬运部，其特征在于，把所述保持部中的真空压力定为表压-70kPa到-30kPa的范围内。
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