[发明专利]压电振动陀螺元件、压电振动陀螺元件的支撑结构和陀螺传感器无效
| 申请号： | 200610002039.2 | 申请日： | 2006-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1818553A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 小仓诚一郎 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供压电振动陀螺元件、压电振动陀螺元件的支撑结构和陀螺传感器，难以形成在从基部延伸的梁上形成的鳍状的异形部，维持角速度的检测灵敏度，并可实现小型化。作为解决手段，一种压电振动陀螺元件(1)，由Z板的石英基板通过蚀刻加工而形成，其中，在XY平面上具备：基部(10)；从基部(10)向两侧沿Y轴方向延伸的1对检测用振动臂(11a、11b)；从基部(10)向两侧沿X轴方向延伸的1对连结臂(13a、13b)；从各连结臂的末端部向两侧沿Y轴方向延伸的各1对驱动用振动臂(14a、14b、15a、15b)；从基部(10)延伸的4条梁(20a、20b、21a、21b)；和连接于各梁的末端上的支撑部(22a、22b、23a、23b)，各梁以X轴为基准沿大致60°的方向延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 陀螺 元件 支撑 结构 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种压电振动陀螺元件，由Z板的石英基板通过蚀刻加工而形成，其特征在于，在XY平面上具备：基部；从所述基部向两侧沿Y轴方向延伸的1对检测用振动臂；从所述基部向两侧沿X轴方向延伸的1对连结臂；从所述各连结臂的末端部向两侧沿Y轴方向延伸的各1对驱动用振动臂；从所述基部延伸的4条梁；和连接于所述各梁的末端上的支撑部，所述各梁以X轴为基准在大致30°或大致60°的方向上延伸。
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