[发明专利]探测装置

摘要

本发明公开了一种探测装置，探测装置包括机械装置。机械装置包括基座、减震器、移动机械装置和台架，台架经由基座连接至接地端子。探测器位于台架上方，通过信号电缆将探测器连接至测量装置的测量端子。信号电缆的连接端子与测量装置的测量端子相连。屏蔽罩位于玻璃基板上的被测器件的上方，其中玻璃基板由台架支撑，屏蔽罩的面积不小于被测器件的面积且不大于被测器件面积的4倍。屏蔽罩接地。

主权项

1.一种探测装置，所述探测装置用于探测绝缘基板上被测器件的微信号，所述绝缘基板上布置有多个彼此间隔的器件，所述探测装置包含：台架，其用于支撑所述绝缘基板的底面并与接地端子连接；探测器，其用于向所述被测器件的测量端子输入测量信号或从所述被测器件的测量端子输出测量信号；以及屏蔽罩，其位于所述被测器件的顶面上方并与所述接地端子连接，其特征在于：所述屏蔽罩的相对面积不小于所述绝缘基板上被测器件的面积并且不大于所述被测器件面积的4倍。