[发明专利]用再装填的储存器进行真空沉积的装置和相应的真空沉积方法无效
| 申请号： | 200580047452.4 | 申请日： | 2005-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101111625A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | J－L·居约克斯;F·施特梅伦;P·布沙伊卜 | 申请（专利权）人： | 阿顿公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 法国塞纳河*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及真空沉积装置，其包括适用于接受待处理的基材(2)并置于真空下的外壳(1)以及至少一个用于产生有机材料的蒸汽的分子束的注射器(110)。具有阀门(20)的注射器穿过外壳的底部并且包括适用于接受包含有机材料的可移动的储存器(10)的喷嘴(120)。主要加热装置(50)加热储存器，而次要加热装置(30，40)加热注射器，从而建立温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 装填 储存器 进行 真空 沉积 装置 相应 方法 | ||
【主权项】：
1.真空沉积装置，其包括适用于接受待处理的基材(2)并置于真空下的外壳(1)以及至少一个用于产生有机材料的蒸汽的分子束的注射器(110)，该注射器(110)包括位于该外壳内部并且穿过该外壳的注射壁的导管以形成外部喷嘴(120)，该外部喷嘴以可分离的方式与有机材料的供应装置密封连接，其特征在于，该供应装置是一个其颈部可以引入该喷嘴(120)中的瓶，该沉积装置包括位于该注射壁(141)两侧并围绕该瓶的外部加热装置(50)以及围绕该导管的内部加热装置(30)，而且可控制的阀门(20)允许控制该外壳中注射器的导通情况。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阿顿公司，未经阿顿公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580047452.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
