[发明专利]具有暗化光瞳的大孔径物镜有效
| 申请号： | 200580044848.3 | 申请日： | 2005-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101088039A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 汉斯－于尔根·曼;戴维·谢弗;威廉·乌尔里希 | 申请（专利权）人： | 卡尔·蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种物镜，尤指一种特别在波长≤193nm中使用的微光刻投影物镜，包括有：第一局部物镜(100)，具有至少一个镜体，其中镜体(S1)不具有能由光束穿过的孔；第二局部物镜(200)，具有至少一个主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)，其中主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)都具有能由光束穿过的孔。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 暗化光瞳 孔径 物镜 | ||
【主权项】：
1.一种物镜，尤指一种特别在波长≤193nm中使用的微光刻投影物镜，包括：第一局部物镜(100)，其具有至少一个镜体，其中，镜体(S1)不具有供光束穿过的孔；第二局部物镜(200)，其具有至少一个主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)，其中所述主凹面镜(SK1)和所述副凹面镜(SK2)都具有供光束穿过的孔。
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