[发明专利]用于在冷冻干燥期间控制脱水的设备和方法无效
申请号: | 200580044001.5 | 申请日: | 2005-12-19 |
公开(公告)号: | CN101084406A | 公开(公告)日: | 2007-12-05 |
发明(设计)人: | C·诺米内 | 申请(专利权)人: | 阿尔卡特朗讯公司 |
主分类号: | F26B5/06 | 分类号: | F26B5/06 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 杨晓光;李峥 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 本发明涉及一种在连接到真空线(18)的腔室(10)中实现的用于在冷冻干燥处理期间监视脱水操作的设备。该设备包括用于分析包含在腔室(10)中的气体的装置,该装置包括:用于电离气体的系统(1),该系统包括与气体接触的等离子源(3),其与用于产生等离子的产生器相结合;以及用于分析电离气体的系统,该系统包括位于等离子产生区域附近的辐射传感器(20),该传感器20与用于分析等离子所发射的辐射谱的演变的装置(22)相连。该等离子源优选地通过由电感耦合而产生,并且用于分析辐射谱的装置是光发射光谱仪。 | ||
搜索关键词: | 用于 冷冻 干燥 期间 控制 脱水 设备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于在连接到真空线的机壳中在冷冻干燥期间控制脱水的设备,所述设备包括用于分析包含在所述机壳中的气体的分析器,其特征在于,所述气体分析器包括:-用于电离所述气体的系统,包括与所述气体接触的等离子源,其与用于从所述气体中产生等离子的产生器相结合,以及-用于分析电离气体的系统,包括位于产生等离子的区域附近的辐射传感器,其连接到用于分析所述等离子所发射的辐射谱的演变的装置。
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