[发明专利]表面图案化和使用受控沉淀式生长的通孔制造无效
申请号: | 200580043645.2 | 申请日: | 2005-12-12 |
公开(公告)号: | CN101084469A | 公开(公告)日: | 2007-12-05 |
发明(设计)人: | D·布丁斯基 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;C30B7/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王英 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种表面图案化和使用受控沉淀式生长的通孔制造的工艺,以及通过根据本发明的这样的工艺制备的图案化衬底。根据本发明的工艺包括提供包含至少一个表面的衬底,在该表面上需要将材料图案化,上述表面包括具有不同表面特性的至少第一和第二表面区域,其中进一步在第一表面区域上提供保护沉淀式生长,并且对至少第二表面区域应用至少一种材料,使得或者基本不对第一表面区域提供应用材料,或者如果对第一表面区域提供应用材料,可从第一表面区域选择性去除应用材料。 | ||
搜索关键词: | 表面 图案 使用 受控 沉淀 生长 制造 | ||
【主权项】:
1、一种提供具有图案化材料的衬底的工艺,所述工艺包括提供包括至少一个表面的衬底,在所述表面上需要将材料图案化,所述表面包括具有不同表面性质的至少第一和第二表面区域,其中在所述第一表面区域上进一步具有保护沉淀式生长物,并将至少一种材料应用到至少所述第二表面区域,因此,或者基本不将所述应用材料提供到所述第一表面区域,或者如果将所述应用材料提供到所述第一表面区域,可从所述第一表面区域选择性地去除所述应用材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皇家飞利浦电子股份有限公司,未经皇家飞利浦电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200580043645.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:具有针对热气的密封件的大功率开关
- 下一篇:用于两侧测量的重叠共用路径干涉仪