[发明专利]蒸发源装置无效
| 申请号： | 200580043015.5 | 申请日： | 2005-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN101080507A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 福田辰男 | 申请（专利权）人： | 双叶电子工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种蒸发源装置，包括：熔融部(24)、滞留部(21)、蒸发部(22)、喷射部(23)。对筒状发热体(241)、(211)通电而发热，使线状的蒸发材料(31)熔融。熔融的蒸发材料(32)从加热容器(242)移动到加热容器(212)并滞留。加热容器(212)的蒸发材料(32)从降下用开口(216)沿着降下用柱状体(224)降下。在其降下的过程中，蒸发材料(32)由于筒状发热体(221)的辐射热而蒸发。蒸发材料(32)的蒸气从喷嘴(232)向基板(61)喷射。筒状发热体(241)、(211)、(221)、(231)由石墨形成，当对电极(213)和(214)、(214)和(222)、(232)和(233)施加电压时，就会发热。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1、一种真空蒸镀装置的蒸发源装置，其特征在于，具有：使液状蒸发材料滞留的滞留部、和使液状蒸发材料蒸发的蒸发部，在滞留部与蒸发部之间是使液状蒸发材料经由降下用开口并利用重力从滞留部向蒸发部通过的结构，从滞留部向蒸发部通过的液状蒸发材料以不与蒸发部的筒状发热体的内壁接触的状态一边降下一边由于周围的辐射热而气化，在该蒸发部的筒状发热体的一部分上设置蒸气的喷射用开口，使蒸气喷射。
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