[发明专利]微镜阵列装置及其制造方法有效
| 申请号： | 200580041816.8 | 申请日： | 2005-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN101213481A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 彼得·休鲁克斯 | 申请（专利权）人： | 德州仪器公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的空间光调制器包括微镜阵列，其中的每一微镜具有反射性可偏转镜板。提供一组支柱来用于将所述镜板保持在衬底上，但并不是微镜阵列的所有微镜均具有支柱。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种投影系统，其包括：照明系统，其提供要入射到空间光调制器上的光束；所述空间光调制器，其包括：微镜阵列，每一微镜定位在一个像素位置处，其进一步包括：在第一像素位置处的第一微镜，其包括：可偏转反射镜板，其附装至可变形铰链，所述可变形铰链在所述第一像素位置处由支柱支撑在衬底上；及在第二像素位置处的第二微镜，其包括：可偏转反射镜板，其附装至可变形铰链，所述可变形铰链在所述第二像素位置处不由支柱支撑于所述衬底上；及光学元件，其用于将光引导至或引导出所述空间光调制器。
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