[发明专利]工件表面电化学加工期间清除残存空气的方法无效
| 申请号： | 200580038413.8 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN101056718A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·博加特;布伦特·M·巴绍尔 | 申请（专利权）人： | 诺发系统有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;C25D17/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张静洁 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了基片电化学加工期间清除残存空气的方法和系统，其中，具有液体开口(520)的硬板(500)可使生产溶液(505)在基片(503)的正面(510)与电极(506)之间流动。硬板(500)包括有一个突出区域(524)，工作时，突出区域上能生成一个凸起的溶液表面(526)，在基片(503)全然浸没在溶液(505)之前能与晶圆的正面(510)接触。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 表面 电化学 加工 期间 清除 残存 空气 方法 | ||
【主权项】：
1.一种将晶圆表面浸没在溶液中加工所述表面的方法，特征在于，包括：将溶液流经具有突出区域的硬板开口，在所述突出区域上生成凸起的溶液表面；将晶圆表面上的选择部分与所述凸起的溶液表面接触；和将晶圆表面全部浸没在溶液中。
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