[发明专利]用于在微电子制造期间涂覆基板外边缘的设备有效
| 申请号： | 200580038021.1 | 申请日： | 2005-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN101056714A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | G·J·布兰德;P·H·艾伦;R·K·特里舒尔 | 申请（专利权）人： | 布鲁尔科技公司 |
| 主分类号： | B05C11/02 | 分类号： | B05C11/02;B05B1/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 项丹 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了新型挡板以及使用这些挡板的方法。该挡板包括具有边壁的板身，该边壁被构造成将成分的流动导向基板(例如，硅晶片)边缘。边壁包括垂直表面(38)、与垂直表面相耦合的弯曲侧壁(42)以及与弯曲侧壁相耦合的唇边(40)。一种优选的挡板是环形的并由合成树脂成分构成。更为优选地，该挡板不由金属构成。本发明的方法包括在旋涂过程期间靠近基板定位上述挡板，由此边壁就引起该成分覆盖基板边缘并优选地覆盖该基板背侧的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微电子 制造 期间 涂覆基板 外边 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于在将一成分涂到具有边缘的基板上期间影响所述成分的流动的挡板，其特征在于，所述挡板包括具有边壁的板身，所述边壁被构造成将所述成分的流动导向所述基板边缘，所述板身的所述边壁包括：垂直表面；与所述垂直表面相耦合的弯曲侧壁；以及与所述弯曲侧壁相耦合的唇边，所述挡板包含合成树脂成分。
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