[发明专利]用于测量集中光束的方法和装置无效
| 申请号： | 200580037317.1 | 申请日： | 2005-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101048647A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 蒂莫西·N·托马斯;布鲁斯·亚当斯;迪安·C·詹宁斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于对包括λ波长的光束进行仿形的方法和器件。接收该光束。通过使用已接收光束使得荧光材料激发出荧光，从而产生具有不同于波长λ的λ′波长的二次光。从已接收光束分离二次光。将分离的二次光光学定向至传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 集中 光束 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于对包括λ波长的光束进行仿形的方法，该方法包括：接收所述光束；通过使用已接收光束使得荧光材料激发出荧光，从而产生具有不同于波长λ的λ′波长的二次光；将所述已接收光束与所述二次光分离；以及将所述分离的二次光光学定向至传感器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580037317.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
