[发明专利]用于光学芯片与芯片互连的连接器连接工艺有效

专利信息
申请号: 200580033326.3 申请日: 2005-09-29
公开(公告)号: CN101065695A 公开(公告)日: 2007-10-31
发明(设计)人: S·托尔;D·卢;H·布劳尼施 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: G02B6/30 分类号: G02B6/30;G02B6/36;G02B6/42
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 王庆海;梁永
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种光学组件(100),包括光电元件(104)和具有沟槽(214)的衬底(102),该沟槽(214)延伸到衬底(102)的边缘,波导阵列(114)位于沟槽(214)内,波导阵列(114)延伸到衬底(102)的边缘,盖子(216)连接到衬底(102)的边缘(116)或其附近,并横跨波导阵列(114)的宽度,盖子(116)包括凹部(404),具有底面(406),其中底面(406)与波导阵列(114)的表面(704)直接接触。盖子(116)和衬底(102)构成连接器(118),用于将光学组件(100)光学连接到其它部件。
搜索关键词: 用于 光学 芯片 互连 连接器 连接 工艺
【主权项】:
1、一种设备,包括;衬底,在其中具有沟槽,沟槽延伸到衬底的边缘;位于沟槽内的波导阵列,该波导阵列延伸到衬底的边缘;和套圈,连接在衬底的边缘或其附近,并横跨波导阵列的宽度,该套圈与波导阵列的表面直接接触。
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