[发明专利]微量成分的分析方法及其分析装置无效
| 申请号： | 200580033032.0 | 申请日： | 2005-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN101031794A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 酒井雄二;大野博基 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G01N30/14 | 分类号： | G01N30/14;G01N30/06;G01N30/88 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供可简便且高精度地进行含氟气的混合气体中所含的微量成分的分析的方法以及微量成分的分析装置。本发明的微量成分的分析方法，其特征在于，使(i)由氟气和稀释气体组成、并含有微量成分的混合气体、和(ii)含氢物质进行反应，将该氟气转化成氟化氢，将该氟化氢进行固定化除去之后，利用气相色谱仪对该微量成分进行分析。本发明的微量成分的分析装置，具有使(i)由氟气和稀释气体组成、并含有微量成分的混合气体、和(ii)含氢物质进行反应的反应管、填充有碱金属的氟化物的管、在可切换载气的流路的六通切换阀上连接有能分取一定量的样品的试样计量管的气体采样器、以及气相色谱仪，进行配管以使得上述混合气体和上述含氢物质按该顺序流过。 | ||
| 搜索关键词： | 微量 成分 分析 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微量成分的分析方法，其特征在于，使(i)由氟气和稀释气体组成、并含有微量成分的混合气体、和(ii)含氢物质进行反应，将该氟气转化成氟化氢，将该氟化氢进行固定化除去之后，分析该微量成分。
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