[发明专利]线性电机、载台装置和曝光装置有效
| 申请号： | 200580032810.4 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101032068A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 森本树;小南忠弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;H02K3/30;G03F7/20;H02K3/32;H01L21/027;H02K9/19;H02K3/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雒运朴;徐谦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种热回收效率高且可以抑制表面温度上升的线性电机。线性电机具备线圈组件(141)，该线圈组件(141)配置成在包围构件(142)内面向温度调整用液体的流路(142a)，且至少一部分与所述液体接触。线圈组件(141)具备：线圈体(144)、覆盖并将线圈体(144)保持为规定形状的成形层(143)、具有对所述液体的防液性并覆盖成形层(143)的防液层(150)。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 电机 装置 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种线性电机，具备线圈组件，该线圈组件配置成在包围构件内面向温度调整用液体的流路，且至少一部分与所述液体接触，其特征是，所述线圈组件具备：线圈体、覆盖并将该线圈体保持为规定形状的成形层、以及对所述液体具有防液性并覆盖所述成形层的防液层。
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