[发明专利]基板检查装置的基板支架和基板检查装置

摘要

本发明提供一种基板检查装置的基板支架和基板检查装置。基板检查装置具有保持基板(W)的基板支架(6)。在基板支架(6)中，从安装于多关节自动装置(8)的基部(7)使多个支撑臂部(10)平行且等间隔地延伸设置，从而整体成为梳齿状。在各支撑臂部(10)的上表面(10a)上配设有用于吸附保持基板(W)的吸附部(12)。另外，横档(15)分别安装于支撑臂部(10)的基端部(11a)侧和前端部(11b)侧，在外侧的支撑臂部(10)的外侧面上安装有支撑横档(17)，通过这些横档(15、17)能够保持基板(W)的侧缘。

主权项

1、一种基板检查装置的基板支架，其安装于驱动部的前端部，并在保持有基板的状态下使所述基板移动，其特征在于，所述基板检查装置的基板支架包括：与所述驱动部连接的基部；从所述基部呈梳齿状平行地延伸设置的多个支撑部；以及在所述支撑部上吸附保持所述基板的吸附部，所述多个支撑部具有保持所述基板的强度。