[发明专利]SiO蒸镀材料、原料用Si粉末及SiO蒸镀材料的制造方法无效
| 申请号： | 200580029460.6 | 申请日： | 2005-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN101010444A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 西冈和雄;木崎信吾 | 申请（专利权）人： | 住友钛株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C01B33/037;C01B33/113 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种SiO蒸镀材料，其特征在于氢气含量在50ppm以下，在向基质蒸镀SiO时，可以抑制飞溅的发生，可以形成透明性和阻隔性出色的SiO蒸镀膜。通过脱气处理使这些原料用Si粉末的氢气含量在10ppm以下，可以以低成本且高效率地制造氢气含量在50ppm以下的SiO蒸镀材料。这样，本发明的SiO制造方法可以作为医疗用品和医药品等具有透明性的同时还具有阻隔性的包装材料的蒸镀材料的制造方法广泛使用。 | ||
| 搜索关键词： | sio 材料 原料 si 粉末 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种SiO蒸镀材料，其特征在于，氢气含量为50ppm以下。
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