[发明专利]检查装置及检查方法暨检查装置用传感器无效
| 申请号： | 200580028794.1 | 申请日： | 2005-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101023317A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 西本泰邦;村上真一;山冈秀嗣;石冈圣悟 | 申请（专利权）人： | OHT株式会社;社会钻石系统株式会社 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种当检查对象为导电体时，利用非接触方式即可高精确度检测出检查对象状态的导电体状态检查装置。在由供电部的输送检查信号的检查对象导电体附近，设置有绝缘基板。在绝缘基板表面上，以既定间隔大致平行设置有多片X轴传感器板；而在绝缘基板背面，以既定间隔大致平行配置有与X轴传感器板大致正交的多片Y轴传感器板，通过比较传感器板的测量信号电平，计算出传感器板的测量信号电平的相对值，从而检测出检查对象导电体的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置用传感器，用于可采用非接触方式检查已施加交流检查信号的检查对象导电体状态的检查装置，其特征在于：以既定间隔，将形成为可检查来自检查对象导体的信号的棒状传感器板设置成列状。
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