[发明专利]照明光学装置、曝光装置和曝光方法

摘要

本发明提供一种可以实现所需的环形照明或圆形照明等而实质上不受来自衍射光学元件的0次光的影响的照明光学装置。该照明光学装置具备：用于将来自光源(1)的光束转换为规定的光强度分布的光束的衍射光学元件(3)；配置于衍射光学元件与被照射面(M)之间的光路中、基于来自衍射光学元件的光束在照明光瞳面上形成实质上的面光源的光学积分器(8)；配置于衍射光学元件与光学积分器之间的光路中、用于改变实质上的面光源的大小及形状的整形光学系统(4、6、7)；以及在整型光学系统的光路中配置于与衍射光学元件实质上具有傅立叶变换关系的位置、用于阻止来自衍射光学元件的0次光沿着照明光路行进的阻止机构。

主权项

1.一种照明光学装置，利用来自光源的光束对被照射面进行照明，其特征是，具备：用于将来自所述光源的光束转换为规定的光强度分布的光束的衍射光学元件；配置于所述衍射光学元件与所述被照射面之间的光路中的光学积分器；配置于所述衍射光学元件与所述光学积分器之间的光路中、用于改变所述实质上的面光源的大小及形状的整形光学系统；以及配置于所述衍射光学元件与所述光学积分器之间的光路中的、来自所述衍射光学元件的0次光聚光的位置，用于阻止来自所述衍射光学元件的0次光沿着照明光路行进的阻止机构；所述阻止机构在所述实质上的面光源的大小因所述整形光学系统而发生变更的情况下，也可抑制由所述阻止机构对所述实质上的面光源造成的影响。