[发明专利]区分材料优先次序以清除异常条件的方法及系统有效
| 申请号： | 200580025980.X | 申请日： | 2005-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101002150A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | M·珀迪 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一般而言，本发明是针对区分材料优先次序以清除异常条件的各种方法及系统。在一示范具体实施例中，本方法包含提供多个工件，每一工件有相关数量的材料在该工件完成处理之前不能处理，并且至少依据不能处理的材料的该相关数量，决定一用于处理所述多个工件中的每一工件的优先次序。 | ||
| 搜索关键词： | 区分 材料 优先 次序 清除 异常 条件 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包含：提供多个工件，所述工件中的每一工件具有相关数量的材料在该工件完成处理之前不能处理；以及至少依据该不能处理的材料的相关数量，决定用于处理所述多个工件中的每一工件的优先次序。
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