[发明专利]液滴沉积装置无效
| 申请号： | 200580023272.2 | 申请日： | 2005-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101107128A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·坦普尔;保罗·雷蒙德·特鲁里 | 申请（专利权）人： | XAAR科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明提供了一种液滴沉积装置。这种呈将两个腔室分隔开的压电壁形式的致动器利用两种致动模式。这两种致动模式引起在两个腔室中产生容积移位，但使得移位在一个腔室中彼此加强，而在另一腔室中彼此抵消。用于液滴沉积的流体泵具有被这样的致动器分开的通道阵列，可在每个通道基本独立于其相邻通道动作的情况下操作该流体泵。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于液滴沉积的流体泵，该流体泵包括：压力腔室阵列，所述压力腔室沿阵列方向并排布置；可移位壁，该可移位壁将相邻的压力腔室分开，并包括沿与所述阵列方向平行的方向被极化的压电材料以及用于向所述可移位壁施加电场的电极装置；并且其中，所述可移位壁布置成能够在施加于所述电极装置之间的电场的作用下，使所述相邻腔室的第一个腔室中的容积移位，该容积不同于在另一腔室即第二相邻腔室中移位的容积。
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