[发明专利]气体支撑的基底承载机构无效
| 申请号： | 200580023248.9 | 申请日： | 2005-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN101023011A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | V·卡萨格尼 | 申请（专利权）人： | OC欧瑞康巴尔斯公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G51/03 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 原绍辉;黄力行 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
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| 摘要： | 一种在真空或者接近真空条件下使用的悬浮设备，包括具有多个气体注入点(1)和邻近的气体抽吸点(2)的悬浮板(3)，以产生空气支撑，因而支撑薄板状基底。另一个实施例包括被支撑基底的运输装置和/或使悬浮板倾斜的倾斜装置。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 支撑 基底 承载 机构 | ||
【主权项】：
1.一种在真空或者接近真空条件下使用的悬浮设备，包括具有多个气体注入点(1)和邻近的气体抽吸点(2)的悬浮板(3)，以产生空气支撑(4)，因而支撑薄板状基底(5)。
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