[发明专利]在闭环操作中微机电系统反射镜的稳定性有效
| 申请号： | 200580022337.1 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1981230A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | A·M·特纳;M·W·黑顿 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民;薛峰 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了用于去除抖动并稳定扭转铰链装置的反馈系统的设备和方法。将来自光束16的光源朝旋转反射镜10的反射表面引导到感光介质20上。传感器22a、22b将运动传感信号提供给控制驱动机构12的监视和控制电路26。通过在振动装置10或者施加于所述设备的驱动扭矩18中提供不对称性来实现稳定性，以便除了所述旋转运动外，又引入微小的横向运动。 | ||
| 搜索关键词： | 闭环 操作 微机 系统 反射 稳定性 | ||
【主权项】：
1.一种扭转铰接扫描系统，包括：振荡组件，其包括一个绕轴转动装置和一个响应于驱动信号的驱动机构，所述绕轴转动装置由一对沿着旋转轴线放置的扭转铰链支撑，所述驱动信号用于根据选定的速度分布使所述绕轴转动装置振荡，所述扫描系统包括因所述装置的主振荡产生横向运动的不对称特征；传感装置，其用于感应所述绕轴转动装置的位置，并产生代表被感应位置的信号；以及控制电路，其被连接成接收代表所述被感应位置的所述信号，并且用于确定维持所述速度分布必需的所述驱动信号的参数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德克萨斯仪器股份有限公司，未经德克萨斯仪器股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580022337.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
