[发明专利]涡轮分子泵的轴承支承结构有效

专利信息
申请号: 200580021122.8 申请日: 2005-06-20
公开(公告)号: CN1973134A 公开(公告)日: 2007-05-30
发明(设计)人: 井口昌司;上原孝浩;中辻重义 申请(专利权)人: 株式会社大阪真空机器制作所
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F16C27/06;F16C37/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 温大鹏
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种涡轮分子泵用轴承支承结构,在以滚动轴承来轴支承转子的旋转轴的方式的涡轮分子泵中,可吸收轴承部处发生的微小振动,并且可对这些轴承部的发热进行冷却,寿命长且安全。该涡轮分子泵的轴承支承结构,将轴支承旋转轴(1)的滚珠轴承(4、5)以使所述滚珠轴承(4、5)的各外圈的外周部以及单侧端面部与各衬套相抵接方式、而分别嵌入上部的第一衬套(6)或下部的第二衬套(7)中,其中,将上述第一衬套(6)及上述第二衬套(7)形成为分别由内侧衬套和外侧衬套构成的内外双重结构,在所述内侧衬套与外侧衬套之间设置具有既定热传导率的凝胶层(6c)或(7c),并且在所述凝胶层(6c、7c)的前后分别配置O形环(6d、6e)或O形环(7d、7e),而将所述凝胶层(6c、7c)密封。
搜索关键词: 涡轮 分子 轴承 支承 结构
【主权项】:
1.一种涡轮分子泵的轴承支承结构,其特征在于,在由上下的滚动轴承来轴支承转子的旋转轴的方式的涡轮分子泵中,上述上下的滚动轴承分别支承于上下的衬套内,所述上下的衬套分别由内外双重的圆筒结构构成,在构成所述上下的衬套的各内侧衬套与外侧衬套之间设置间隙,在该间隙中填充热传导凝胶而形成圆环状凝胶层,并且在该凝胶层的两端部分别配置O形环等弹性件来密封上述凝胶层。
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