[发明专利]涡轮分子泵的轴承支承结构有效
申请号: | 200580021122.8 | 申请日: | 2005-06-20 |
公开(公告)号: | CN1973134A | 公开(公告)日: | 2007-05-30 |
发明(设计)人: | 井口昌司;上原孝浩;中辻重义 | 申请(专利权)人: | 株式会社大阪真空机器制作所 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F16C27/06;F16C37/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种涡轮分子泵用轴承支承结构,在以滚动轴承来轴支承转子的旋转轴的方式的涡轮分子泵中,可吸收轴承部处发生的微小振动,并且可对这些轴承部的发热进行冷却,寿命长且安全。该涡轮分子泵的轴承支承结构,将轴支承旋转轴(1)的滚珠轴承(4、5)以使所述滚珠轴承(4、5)的各外圈的外周部以及单侧端面部与各衬套相抵接方式、而分别嵌入上部的第一衬套(6)或下部的第二衬套(7)中,其中,将上述第一衬套(6)及上述第二衬套(7)形成为分别由内侧衬套和外侧衬套构成的内外双重结构,在所述内侧衬套与外侧衬套之间设置具有既定热传导率的凝胶层(6c)或(7c),并且在所述凝胶层(6c、7c)的前后分别配置O形环(6d、6e)或O形环(7d、7e),而将所述凝胶层(6c、7c)密封。 | ||
搜索关键词: | 涡轮 分子 轴承 支承 结构 | ||
【主权项】:
1.一种涡轮分子泵的轴承支承结构,其特征在于,在由上下的滚动轴承来轴支承转子的旋转轴的方式的涡轮分子泵中,上述上下的滚动轴承分别支承于上下的衬套内,所述上下的衬套分别由内外双重的圆筒结构构成,在构成所述上下的衬套的各内侧衬套与外侧衬套之间设置间隙,在该间隙中填充热传导凝胶而形成圆环状凝胶层,并且在该凝胶层的两端部分别配置O形环等弹性件来密封上述凝胶层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社大阪真空机器制作所,未经株式会社大阪真空机器制作所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200580021122.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。